當葉輪葉片入口附近的壓力pK小于液體輸送溫度下的飽和蒸汽壓力pv時，液體就汽化。同時，使溶解在液體內的氣體逸出。

它們形成許多汽泡。當汽泡隨液體流到葉道內壓力較高處時，外面的液體壓力高于汽泡內的汽化壓力，則汽泡又重新凝結潰滅形成空穴，瞬間內周圍的液體以極高的速度向空穴沖來，造成液體互相撞擊，使局部的壓力驟然增加(有的可達數百個大氣壓)。

這樣，不僅阻礙液體正常流動，尤為嚴重的是，如果這些汽泡在葉輪壁面附近潰滅，則液體就像無數個小頭一樣，連續地打擊金屬表面。

其撞擊頻率很高(有的可達2000～3000Hz)，于是金屬表面因沖擊疲勞而剝裂。如若汽泡內夾雜某種活性氣體(如氧氣等)，它們借助汽泡凝結時放出的熱量(局部溫度可達200～300℃)，還會形成熱電偶，產生電解，形成電化學腐蝕作用，更加速了金屬剝蝕的破壞速度。上述這種液體汽化、凝結、沖擊、形成高壓、高溫、高頻沖擊負荷，造成金屬材料的機械剝裂與電化學腐蝕破壞的綜合現象稱為汽蝕。

多級離心汽蝕余量的危害多級離心泵容易發生汽蝕的部位：葉輪曲率較大的前蓋板處，靠近葉片進口邊緣的低壓側；壓出室中蝸殼隔舌和導葉的靠近進口邊緣低壓側；無前蓋板的高比轉數葉輪的葉梢外圓與殼體之間的密封間隙以及葉梢的低壓側；多級多級離心泵中 一級葉輪。