等離子清洗機(jī)采用13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
?腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性；
?采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
?支持自動(dòng)手動(dòng)模式，方便客戶靈活操作；
?智能自動(dòng)模式：可以設(shè)置為2次清洗，2次進(jìn)氣,每次清洗時(shí)間,進(jìn)氣穩(wěn)定時(shí)間都可以設(shè)定；
?手動(dòng)模式：手動(dòng)模式下，系統(tǒng)可以啟動(dòng)定時(shí)功能，清洗時(shí)間到，系統(tǒng)自動(dòng)停止工作；
?氣壓穩(wěn)定功能（選配）：根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內(nèi)壓力；
?智能氣路功能（選配）：根據(jù)需要，可以配置質(zhì)量
?流量計(jì)系統(tǒng)，可以設(shè)置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
?等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。
