高精度激光干涉儀測量

SJ6000高精度激光干涉儀測量的主要的應(yīng)用之一就是機(jī)床精度檢測。它可以通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測，它可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力，同時(shí)可進(jìn)行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

產(chǎn)品特點(diǎn)
1）測量精度高
2）檢測功能多
3）可設(shè)定補(bǔ)償方式，自動生成報(bào)表
4）具有動態(tài)測量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能
5）內(nèi)置多種機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
6）可選擇手動或自動對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償
7）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

SJ6000高精度激光干涉儀測量集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。

技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

SJ6000高精度激光干涉儀測量采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?