高精度激光干涉儀測量

SJ6000高精度激光干涉儀測量的主要的應用之一就是機床精度檢測。它可以通過與不同的光學組件結合，對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現在所有類型數控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應用，具有更強的環境適應能力，同時可進行動態高速測量，配以相應元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

產品特點
1）測量精度高
2）檢測功能多
3）可設定補償方式，自動生成報表
4）具有動態測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能
5）內置多種機床檢驗標準
6）可選擇手動或自動對波長進行環境補償
7）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

SJ6000高精度激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。

技術指標

主機
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
預熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環境濕度：(0~95)%RH
環境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

SJ6000高精度激光干涉儀測量采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。