產品名稱：SENS4真空傳感器VPM-5

產品型號：VPM-5

產品介紹：

VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導率真空測量儀的可用測量范圍擴展到1-3年來建立了新標準技術，再加上新型的準確數字信號處理架構和創新測量算法。

性能特點：

?超寬的測量范圍為9年

?通過S4-Connect USB程序員簡化配置

?0-10 VDC可編程電壓輸出

?數字RS-232或RS485接口

?穩定Zero漂移補償

?可選的固態設定點繼電器用于過程控制

參數：

?磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

?滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

?模擬輸出分辨率：16位（150 μV）

?模擬輸出更新率：124 Hz

?響應時間（ISO 19685：2017）：<20 ms

?溫度補償：+10至+50°C

?固態繼電器設定點范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

?固態繼電器接觸評級：50 V，100 MARMS / MADC

環境條件:

?操作環境溫度：-20至+50°C

?介質溫度：-20至+50°C

?存儲環境溫度：-40至+120°C

?烘烤溫度（非操作）：+120°C

?安裝位置：任意

?濕度，IEC 68-2-38：98％，無調

電源:

?電源電壓：12-30 VDC

?功耗：240 MW（max）

?反極性保護：是

?電壓保護：是

?內部保險絲：100 mA（可回收）

應用：

?質譜儀

?掃描電子顯微鏡

?爐熱處理

?玻璃，光學，工具等的PVD涂層

?制冷服務和制造

?半導體處理