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PURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列

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產(chǎn)品價格: 1256/人民幣 
最后更新: 2023-03-09 10:45:44
產(chǎn)品產(chǎn)地: 本地
發(fā)貨地: 本地至全國 (發(fā)貨期:當天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 290
詢價  家家通會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 天津西納智能科技有限公司
    • 余子豪先生 銷售經(jīng)理
    • 會員[家家通會員產(chǎn)品]
    • 郵件sales@e-xina.com
    • 手機400-765-1288
    • 電話
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    • 地址天津市和平區(qū)南京路235號河川大廈A座22樓
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明

    產(chǎn)品名稱:PURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列

    產(chǎn)品型號:PGF

    產(chǎn)品介紹

    具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內(nèi)的粒子,同時實現(xiàn)高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)

    性能特點

    ●對于亞微米LSI工藝,須向使用點供應(yīng)高純度工藝氣體。為此,超清潔管道也是一個主要問題。為了滿足這些要求,Pureron Japan開發(fā)了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器,并在穩(wěn)定條件下實現(xiàn)了0.003μm的高精度過濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。

    ●去除諸如水和氧的雜質(zhì)對于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質(zhì),高溫烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷過濾器就是從這個角度開發(fā)的,可以在200°C下進行高溫烘烤。通過免維護操作降低成本。

    ●三層過濾結(jié)構(gòu),取決于顆粒直徑的大小,很少產(chǎn)生堵塞。與傳統(tǒng)過濾器相比,陶瓷過濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此,生產(chǎn)停工造成的損失很小,實現(xiàn)了長期成本降低。

    選型指南

    可選功能與配件

    過濾烘烤:200°C,2小時

    金屬帽

    對于PGF-8型大流量,請聯(lián)系我們。

    技術(shù)參數(shù)

    去除率:0.003μm

    建議流速:10 ? 200L/min.

    20℃時的設(shè)計壓力:17MPa(2465PSIG)

    正常工作壓力:小于1MPa(145PSIG)

    20℃時允許壓差:max.9.6MPa(1392PSIG)

    連續(xù)使用溫度:max.120℃

    烘烤溫度:200℃

    外部泄漏量:2×10?11Pa?立方米/秒(He)以下 (或更少)

    結(jié)構(gòu)要素

    外殼:SUS316L內(nèi)面粗度

    粗糙度:Rmax0.7μm以下 (或更少)

    元件:氧化鋁陶瓷、Al2O3

    密封:PTFE

    接頭:1/4”、3/8”、1/2”、3/4”墊片密封、壓縮密封等


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