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降低停機(jī)維護(hù)次數(shù),為降低購(gòu)置成本帶來(lái)更大的可能性。
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優(yōu)化處理,以延長(zhǎng)研磨墊及研磨盤(pán)的使用壽命。
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化學(xué)及機(jī)械雙重力量牢固綁定鉆石,提供堅(jiān)固穩(wěn)定的鉆石耐受力
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提供堅(jiān)固穩(wěn)定的鉆石耐受力。
高度工程化定制化的鉆石研磨盤(pán),利用燒結(jié)工藝,穩(wěn)定均勻的鉆石排布、銳利度及高度,專(zhuān)為半導(dǎo)體高階CMP應(yīng)用提供解決方案。