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伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220用于 ZAO 透明導電薄膜及性能研究試驗

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產品價格: 11/人民幣 
最后更新: 2020-10-22 13:30:16
產品產地: 美國
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    產品詳細說明

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220用于 ZAO 透明導電薄膜及性能研究試驗


    某實驗室運用直流磁控濺射法, 采用 ZAO 陶瓷靶材, 結合正交試驗表通過改變制備工藝中的基片溫度、濺射功率、氧流量百分比等參數, 在普通玻璃襯底上制備得到ZnO: Al(ZAO)透明導電薄膜.

     

    試驗設備:

    伯東 KRI 聚焦射頻離子源 RFICP 220 進行濺射, 選用 ZAO 陶瓷靶, 基片為普通玻璃, 普發 Pfeiffer 旋片泵 Duo 3.

     

    工藝要求:

    靶與基片距離為5cm, 濺射時間為30 min

     

    伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

    離子源型號

    RFICP 220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    推薦理由:

    聚焦型射頻離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

     

    在整個實驗工藝中工作氣壓保持在 3x 10-1Pa, 因此采用伯東 Pfeiffer 旋片泵 Duo 3.

    伯東 Pfeiffer 旋片泵 Duo 3 技術參數如下:

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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