晶圓激光刻號機

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最后更新：	2023-04-07 08:47:50
產品產地：	上海奉賢區
發貨地：	上海奉賢區 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
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公司基本資料信息

首昂光電（上海）有限公司
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晶圓刻號打碼機

產品介紹
是專業化的晶圓激光刻號打碼專用設備，適用于2-8英寸晶圓的軟打標、硬打標作業。
支持OCR字符和點陣字符，
適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標、硬打標。
全自動生產可加工2〞- 6〞、4〞- 8〞、8〞- 12〞晶圓
工業級激光器，穩定可靠，免維護
光束質量好，標識精細，可讀性好
操作界面友好，使用方便，
無需外接水冷機

應用范圍：

2-8英寸晶圓的軟打標、硬打標
適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號、打碼。

技術規格項目單位數值

最大加工尺寸晶圓尺寸 inch 6英寸
激光器功率激光器出口處 w 20瓦
激光器波長紅外光纖激光器 nm 1064納米
定位精度 mm 0.05毫米
重復精度 mm 0.02毫米
振鏡最大掃描速度 mm/s 7000毫米/秒
振鏡類型數字/模擬高速數字式振鏡
最大負載 Kg 1.5千克
協作機械手最大臂長 mm 400毫米
重復精度 mm 正負0.03毫米
Z向行程 mm 210微米
電源 AC 兩相220~240V 50HZ
最大耗電量 Kw 1.5千瓦
單獨接地電阻 Ω 小于4歐
共用接地電阻 Ω 小于1歐
壓縮空氣供給壓力 MPa 0.5~0.8兆帕
廠務真空供給 Kpa -0.6千帕
其他規格排風口口徑 mm 50毫米

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