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低溫等離子體技術動力消耗低，裝置簡單，易于操作，占地面積小，使用方便，近年來得到迅速發展。催化氧化技術催化氧化技術的工作原理是VOCs在25～45℃溫度的環境和相關催化劑的條件下，發生氧化反應，生成二氧化碳和水，從而達到處理VOCs的目的。光催化技術是指在光照在半導體的條件下，當光子能量高過催化劑的吸收閾值時，半導體的價帶電子能夠從價帶躍遷到導帶，產生光生電子和空穴，繼而空氣中的納米顆粒物表面形成超氧負離子，后和催化劑表面形成的羥基自由基將揮發性有機物轉化成二氧化碳和水無毒無害物質。
