TO催化燃燒設備先通過除塵阻火系統。然后進入換熱器，再送到加熱室，使氣體達到燃燒反應溫度，再通過催化床的作用，使廢氣成二氧化碳和水，再進入換熱器與低溫氣體進行熱交換，使進入的氣體溫度升高達到反應溫度。如達不到反應溫度，加熱系統科通過自控系統實現補償加熱。利用催化劑做中間體，使氣體在較低的溫度下，變成水和二氧化碳氣體。
在催化燃燒過程中，催化劑往往會因高溫、振動和氣流等因素的作用，使催化劑產生破裂和磨損，破裂和磨損會造成催化劑的降低，增加催化劑床層的壓降，影響凈化效果。
由于物催化燃燒的催化劑分為貴金屬(以鉑、鈀為主)和金屬催化劑。貴金屬為組分的催化劑分為全金屬催化劑和以氧化鋁為載體的催化劑。全金屬催化劑是以鎳或鎳鉻合金為載體，將載體做成帶、片、丸、絲等形狀，采用化學鍍或電鍍的方法，將鉑、鈀等貴金屬沉積其上，然后做成便于裝卸的催化劑構件。
廢氣是石油化工、輕工、塑料、印刷、涂料等行業排放的常見污染物，廢氣中常含有烴類化合物（芳烴、烷烴、烯烴）、含氧化合物（醇、、酸等）、含氮、硫、鹵素及含磷化合物等。如對這些廢氣不加處理，直接排入大氣將會對環境造成嚴重污染，危害人體健康。傳統的廢氣凈化方法包括吸附法、冷凝法和直接燃燒法等，這些方法常有易產生二次污
