德國SPS POLOS ® SPIN150x多功能旋涂儀2024全新上市
POLOS ® SPIN150x 是一種多功能、高質量的基底
旋涂機，由 NPP 制成。它專為研發和小批量生產
而設計。臺式型號可手動或自動（可選）分配化學
品。
腔體規格
外殼材質
天然聚丙烯（NPP）
最大底物直徑
最大可用 6” (150 mm) 晶圓
最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
我們的新 POLOS ® SPIN150 X 將于2024NEW 年開始供應
適用范圍:
? 涂層
? 清洗沖洗/烘干
? 顯影
? 刻蝕
? PDMI
? 其他程序.
硬件規格：
液體過濾疏水閥
? 獨特的外殼和排水管設計，可切換桌面和Indeck模式
用于注射器或噴嘴的中心注射支架
? 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
? 大尺寸觸摸顯示屏（可拆卸）
? USB 端口，用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件
更新
驅動裝置規格：
? 間接無刷驅動裝置
? 轉速高達 12.000 RPM（取決于底物/卡盤）
? 高加速度、高精度
? 加速/減速 1-30.000 RPM
? 順時針、逆時針旋轉和漩渦選項
德國SPS POLOS ® SPIN150x多功能旋涂儀2024全新上市
