尼康干涉物鏡5X\/10X\/20X\/50X\/100X介紹

尼康干涉物鏡
5X/10X/20X/50X/100X
干涉測量鏡頭可用在非接觸光學(xué)壓型測量設(shè)備上，通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數(shù)等。也可用來檢測表面粗糙度，測量精度非常高，在一個波長之內(nèi)。一束光通過分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來，Michelson鏡頭擁有更長的工作距離，更寬的視場和更大的焦深。Mir
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尼康干涉物鏡CF PLAN EPI 2.5X Ti/5X

尼康干涉物鏡CF PLAN EPI 2.5X Ti/5X

干涉物鏡

2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
工作距離（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
NA（數(shù)值孔徑） 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
空間采樣（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
光學(xué)分辨率 藍光（L&S）（mm）3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光學(xué)分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT 0.01nm）