MEMS技術應用使得金屬氧化物(MOX)氣體傳感器在晶圓級大規模生產中得以廣泛應用,大大降低了硅晶圓制造的成本。這些氣體傳感器裝置適用于一氧化碳(CO)和各種揮發性有機化合物,如:如乙醇、丙酮和甲苯的測量。出于和安全考慮,這些傳感器的應用主要包括環境監測、生物研究、工業控制、便攜式酒精測量儀和家庭空氣監測系統。MOX氣體傳感器采用MEMS技術,大大降低了制造成本。但是這些傳感器也必須經過測試,這與典型半導體器件的制造和測試相比是一組獨特的挑戰。 ② 氧氣管道與其他氣體管道可同架敷設,其間距不得小于0.25m,氧氣管道應處于除氧氣管道外的其它氣體管道之上。 ③ 氫氣管道與其可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.50m;交叉敷設時,其間距不應小于0.25m。分層敷設時,氫氣管道應位于上方。室內氫氣管道不應敷設在地溝內或直接埋地。不得穿過不適用氫氣的房間。 ?、?氣體管道不得和電纜、到店線路同架敷設。 ?、?氣體管道宜采用無縫鋼管。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。 ?、?管道與設備的連接段宜采用金屬管道,如為非金屬軟管,宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管,不得采用乳膠管。 ⑦ 閥門和附件的材質:對氫氣和煤氣管道不得采用銅質材料,其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。