PFA吸收瓶在半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體純化技術(shù)的應(yīng)用

半導(dǎo)體特氣應(yīng)用于晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié)；

狹義的“電子氣體”特指電子半導(dǎo)體行業(yè)用的特種氣體，主要應(yīng)用于前端晶圓制造中的化學(xué)氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)；

電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性，對(duì)于半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。

由于半導(dǎo)體集成電路芯片更高性能、更高集成度發(fā)展，科技對(duì)電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的要求，電子特氣的凈化愈加關(guān)鍵和重要。

電子氣體品種多，純化方法一般多采用吸附(常溫、低溫)、精餾(古間歇精餾)、催化等方法。

現(xiàn)已有分析法：吸收法（鼓泡法）

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