MMD-HPG150型粗糙度輪廓儀 臺式一體機 輪廓粗糙度一體化

測量范圍

X方向

150mm

Z1（傳感器）

60mm

高度

500mm

測量精度

X指示精度

（L=X軸移動導軌距離）

±(0.7+0.002L)μm

Z1指示精度

（H=Z軸方向測量高度）

±(0.4+0.005H)μm

粗糙度

示值誤差

±5%

示值穩(wěn)定性

≤±7%

測量重復性

±3%

X軸

類型

光柵傳感器

分辨率

0.01μm

產地

microe

直線度

0.5um/100mm

Z1軸

（傳感器）

類型

光柵傳感器

分辨率

0.01μm

產地

microe

評定長度

λc×3、4、5、6、7

測量速度

輪廓儀

0.02mm至4.0mm/s

粗糙度

0.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s

測針

輪廓儀粗糙度儀一體

針尖R5μm  60度

工作壓力

0.35～0.43Mpa

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m3/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%