PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA

產(chǎn)品價格：	/人民幣
最后更新：	2024-05-21 13:17:41
產(chǎn)品產(chǎn)地：	上海浦東新區(qū)
發(fā)貨地：	上海浦東新區(qū) (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

上海雍昌環(huán)保科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA ，應(yīng)用石英石晶圓花籃，半導(dǎo)體清洗槽，半導(dǎo)體設(shè)備
超高純度接觸晶圓的防腐材料金屬離子含量低于PPB級，否則會污染晶圓優(yōu)秀防腐性需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能，抵御各類強酸強堿，防止腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性高厚度和致密性，保證研磨液/清洗液不會滲透進(jìn)入涂層接觸基體金屬硬度及耐磨性硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度，耐磨性保證了部件的壽命且不能過硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強度載重原因，部分無法使用超高純注塑材料，改用超高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材料，但表面容易劃傷晶圓，且接觸酸容易造成花籃腐蝕損壞
叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時，會造成晶圓劃傷，需要表面進(jìn)行防護，同時材料需要有防腐性保證飛濺的酸堿不損壞轉(zhuǎn)運臂

純度：PPB級
厚度：400-800μm
耐酸：氫氟酸+硝酸
硬度：4H

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