一般綜合利用蒸餾、化學處理、氣體吸收、顆粒控制及亞沸蒸餾等多種方法來制備超高純HF，滿足各項技術指標。蒸餾設備還需考慮高溫下材質的抗腐蝕性,一般用金、鉑、銀等或聚四氟乙烯制造。此外,生產裝置的設計取決于工藝流程的布置,利用物料自然向下流動的垂直布置能夠在中部制備高純HF,底部過濾產品、罐裝及貯存,能減少泵的輸送,節(jié)約能量并降低成本,避免二次污染。電子級HF的生產流程:經過化學預處理的工業(yè)無水HF送入精餾塔進行精餾得到HF氣體;冷卻HF并送人吸收塔,吸收用超純水,任液比與噴淋密度繼續(xù)純化電子級HF。