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氫探頭是一種用于測量滲氮及氮碳共滲過程中氫含量的裝置。它基于氫氣與氫探頭表面上的催化劑發生反應產生電子流的原理工作。當氫氣分子與氫探頭上的催化劑表面發生吸附作用時，被吸附的氫分子會發生電子轉移，釋放出電子并形成氫離子。氫離子在探頭表面產生電光聲激發，使得電子被激發或遷移，形成電流。這個電流與氫氣濃度成正比關系，因此通過測量電流的大小可以間接得到氫氣濃度的信息。