微控擴散爐-廠家直銷-支持定制

產品價格：	/人民幣
最后更新：	2024-09-13 09:14:41
產品產地：	山東青島
發(fā)貨地：	山東青島 (發(fā)貨期：當天內發(fā)貨)
供應數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

青島福潤德微電子設備有限公司
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地址青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園6號

產品詳細說明

擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標：
可處理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：臥式1—4管結構
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩(wěn)定性、重復性： ≤±1℃/24h
溫度斜變：可控升溫速率15℃／min
可控降溫速率： 5℃／min
送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：全自動MFC
控制方式：工控機、觸摸屏

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