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微控擴散爐-廠家直銷-支持定制
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產品價格： /人民幣 
最后更新： 2024-09-13 09:14:41
產品產地： 山東青島
發貨地： 山東青島 (發貨期：當天內發貨)
供應數量： 不限
有效期： 長期有效
最少起訂： 1
瀏覽次數： 24
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  • 公司基本資料信息
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    產品詳細說明
    擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

    擴散爐技術指標：
    可處理硅片尺寸：2—12英寸
    外型形式：臥式1—4管結構
    工作溫度：200℃—1300℃
    恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
    單點溫度穩定性、重復性： ≤±1℃/24h
    溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
    可控降溫速率： 5℃／min
    送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
    氣路系統：1—5路工藝氣體／管
    氣體控制：全自動MFC
    控制方式：工控機、觸摸屏


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