真空清洗爐是利用化纖高分子聚合物在300C左右可熔融,高于300°C隔絕空氣可裂解焦化，并產生多種裂解物，高于400°C在有少量空氣并有一定真空度的環境中可完全氧化的特性達到清洗工件的目的。利用這一特性，先把工件加熱到300°C，使工件表面上數量較多的高分子聚合物融化流入下部的廢料收集罐中，工件表面微孔中只剩少量的高分子聚合物和灰分，這時再將爐溫升到400°C~450°C左右，(溫度可根據 工藝要求確定)，同時，打開真空泵，并通入少量空氣，使剩余的高分子聚合物充分氧化;生成二氧化碳和水蒸汽，通過真空泵，將漂浮在爐內的灰分和水蒸汽經水噴淋洗滌器噴淋洗滌后抽出爐外，由水帶走，整個工作過程沒有污染氣體和煙霧灰分排在室內，即使排出室外的也只是少量的二氧化碳，水中帶走的灰分也很少.。