chemraz lf10 PTFE改性專(zhuān)用半導(dǎo)體密封圈涂層,rubber氟膠密封圈,離子刻蝕,干法清洗,先進(jìn)制程中高要求密封工況,耐溫防粘耐等離子體,避免以下三種問(wèn)題
1,橡膠老化,密封性下降
2,高溫融化,黏住基體
3,等離子造成橡膠內(nèi)有機(jī)物氣體揮發(fā)
涂層厚度:1-2um
耐 溫: <400℃
耐等離子:性提升5倍
PPB : LEVEL
黏 連 力: 降低90%
整體壽命:提升10倍
25Khz無(wú)脫落:>2000h