通常利用泊肅葉定律來進行內部補償層流(ICL)計算，首先要有一個特殊的管路通道，我們稱之為層流元件(LFE)，LFE將迫使氣體分子沿著管道平行通過，幾乎消除湍流后在層流區內測量兩端的壓力差。根據泊肅葉定律，流量與壓差的關系如下：Q=(P1P2)r4/8LQ=體積流量P1=入口靜壓P2=出口靜壓r=管道半徑=流體粘度L=管道長度由于、r和L都是常數，則上述公式可被簡化為：Q=K(P/)在這個公式中，K是由管道幾何形狀決定的常數，因此得出一個較簡易的體積流量、壓力差與粘度之間的線性關系。