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美國MKS控制器DLT2A2

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產品價格: 6200/人民幣 
最后更新: 2025-05-30 08:57:13
產品產地: 美國
發貨地: 南京 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 88
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  • 公司基本資料信息
    • 南京灼華電氣有限公司
    • 王辰龍先生 經理
    • 會員[家家通會員產品]
    • 郵件2798236173@qq.com
    • 手機18752080966
    • 電話
    • 傳真
    • 地址江蘇省南京市六合區金牛湖街道茉莉花路360號
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明
    1、美國MKS控制器產品介紹
    使用DELTA?流量比控制器(FRC),優化過程性能變得更加容易。DELTA?流量比控制器(FRC)廣泛用于各種分流應用,例如蝕刻、剝離和PECVD,使用戶能夠將氣體或氣體混合物分配到工藝室的不同區域。DELTA?II流量比例控制器以用戶的比例分配和控制混合工藝氣體流向工藝室內的多個腔室或區域,從而最大限度地提高工藝均勻性和可重復性。它可用于EtherCAT?或DeviceNet?通信。

    2、美國MKS控制器產品特征
    分配和控制流向兩個腔室或區域的工藝氣體
    用于在運行期間監控設備的嵌入式以太網
    模擬、EtherCAT?或DeviceNet?通信
    更寬的動態控制范圍,可實現低至5%滿量程流量的比率控制
    獲得的控制算法可實現更快的響應比設定點
    使用標準網絡瀏覽器-無需特殊軟件
    3、美國MKS控制器產品優勢
    DELTA II具有更寬的動態比率控制范圍,更能適應不同的刀具和工藝條件。MKS開發了一種獨特的正在申請的比率控制算法,使比率和流量響應時間小于兩(2)秒。這種控制算法還支持20比1的比率控制范圍,是其行業領先前身的兩倍多。DELTA II的診斷功能允許用戶在現場檢查DELTA的性能,通過減少“未發現問題”設備的移除來降低成本。此功能通過通過設備的以太網端口訪問的Web瀏覽器實用程序啟用。該實用程序使用標準的網絡瀏覽器——不需要特殊軟件。訪問時,可通過設備高亮LED顯示屏訪問IP地址。

    4、美國MKS控制器產品信息
    DELTA II廣泛用于各種分流應用,如蝕刻、剝離和CVD,使用戶能夠將氣體或氣體混合物分配到工藝室中的兩個不同區域。向DELTA II發送氣體(或任何混合物)和比率設定點,DELTA II將自動且精確地將氣體分成兩個獨立的輸出通道。吞吐量和過程控制一直是半導體器件制造商的關鍵。隨著300毫米晶圓和雙工藝室的出現,控制氣流分布的新方法變得越來越需要。300毫米晶圓加工通常需要對整個晶圓的氣體分布進行可調控制,以提供更好的工藝均勻性。雙工藝室需要適當的氣體分布,以便與單源氣體面板的室匹配。

    5、美國MKS控制器產品技術數據
    最大工作出口壓力:200托
    最大允許出口壓差:50托(Q1和Q2之間)
    正常工作壓差:<150托(對于10000/10000,<450托)(N2)
    證明壓力:1000磅/平方英寸
    爆破壓力:1500磅/平方英寸
    輸入流量范圍:每個通道的5到100%滿量程額定值(N2等效)
    比率控制范圍:1:1到20:1和20:1到1:1
    比率精度:比率設定點的2%
    典型精度:比率設定點的0.3%
    比率重復性和再現性:通道滿量程的0.02%
    零溫度系數:0.05%滿量程/°C
    跨度溫度系數:0.08%讀數/°C
    熱身時間:30分鐘
    工作溫度:10至40°C

    6、美國MKS控制器產品部分型號
    美國MKS控制器DELTA?IV 4
    美國MKS控制器DELTA?II
    美國MKS控制器DLT2A2
    美國MKS控制器DLT2B
    美國MKS控制器DLT2A1
    美國MKS控制器DLT3B

    美國MKS控制器DLTNA3

    Lovato? ? TM ST
    AII? GPR12-333PPM 02 SENSOR,S/N:504342747
    RELECO? QR-C C7-A20,DC110V,3.6A
    STI? DT-S11F1S0
    Schenck? ? RTN 1t C3
    SOLARTRON? OD4
    BD? 壓力傳感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
    Dynisco? TPT4634-35MPA-6/18
    Turck? ? ?BL20-E-8AI-U/I-4PT/NI/ET
    SCHMALZ? 電纜10.06.02.00031
    Dynisco? MDT422F-1/2-50-15/110-A
    Parker? 電磁閥D1VW001CNJEE
    BERU? ?點火電極ZE14-12? ?長度88.94mm
    SOR? ?311581-ND1703
    MAGTROL? ?稱重傳感器LB220-011/001
    HYDAC? ?溢流閥DB12120A-01X-250V
    TWK 電子式接觸器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
    Prominent普羅名特? CNPb1000PVT200AC1D
    Dynisco? ?傳感器TPT4636-5M-6/18-RTD1
    VICKERS? ? DGMA-3-C1-10
    SKF? ?軸承加熱器TWIM15/230V
    MTS? RH-M-0350M-D63-1-P102
    HYDAC 壓力傳感器HAD 3840-A-350-190帶插頭停產替代HDA4842-A-350-416
    BAUMER? ?編碼器 ITD70A4Y7 1024IMP 8~30VDC
    KROM? VK 80F10T5A6L3DVZ
    Dynisco? ? 傳感器NP-465XL-1/2? 50mpa
    DOLD? ?安全繼電器? ?LG5925.48 3NO+1NC
    SOCOMEC? Stromwandler 200A TCB 44-50 Kl. 0,5 192T5020
    HYDAC? ? 壓力開關VD 5D.0/-W-LED 04/20 DC24V 可能是VD5D.0/-V-LED
    AI-TEK? 轉速傳感器70085-1010-412
    IFM? ?接近開關IB0016? IBE2020-FBOA
    HYDAC? ?壓力傳感器HDA4445-A-250-000
    IFM? ?開關 6-EFECTOR; IN5207 IN-2002- FRKG; U:10… 55V DC I:400MA SCP T26; D45127
    LINCOLN林肯? ?超聲波液位開關 SONAR-SENSOR BPU1-V375-L800 200? 664-34009-2
    WOERNER? ? ?液位開關KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
    DYNISCO? ?壓力傳感器? 2242NAOOM21CEFFBCAZZB628
    TR? ? CXS65S-00002
    LEUZE? AMS 304i 200 Part number:50113679
    HYDAC? ?數顯溫度控制器ETS388-5-150-000
    高諾斯 Crouzet? ?備件號: 84872057? ?65-260V? ?升級為84872.152
    Weidmuller? ?浪涌保護器1352900000 VPU II 4 400V/40KA? ? 升級為VPU II 4 R 400
    FESTO? 10P-14-8C-MP-N-Y-C3JMJJM+GQC
    Bently? 探頭330103-00-07-10-02-00
    HIROSAWA/IKURA? THA1-7556X-TP-N/O WITH SENSOR AJC017-N.O., AC200V 50/60HZ FOR VS-520B
    HS-COOLER冷卻器? KS25-BCV-421 L2400
    MOELLER? ? 輔助繼電器DILAC-40 DC220V,帶底座
    ROLAND? SCI20S-GG 40米
    SIEMENS西門子? CE-0085AP0001
    BALLUFF巴魯夫? ?位移傳感器BTL7-S573-M1800-8-S32
    NORGREN? 減壓閥B38P 444 M1MA
    耐震壓力表國產? ?壓力范圍:0~5000psi,壓力等級:1.6,壓力表接頭:1/4″ NPTM,安裝形式:軸向偏心嵌裝式,帶邊;表盤直徑:150mm,充液防震,材質:304不銹鋼
    CEAG? ? ?插頭GHG5117306R0001? 220v
    SUN? ? CBCA-LIN-EBA 30-105 BAR/503 697報價型號CBCA-LIN-EBA
    BRAUN? ?D124,1S2U2M? ? ?NO.:1406040019
    Rexroth 4WE 10 D50/OFEG24N9K4/M
    schmersal? ? ?端門行程開關ZIR236-11z-M20
    Kubler? ?編碼器? 8.5020.0A40.1024.S046.EX? ?No.:2116704468
    MTS? ?RHM0280MR031A01
    PIZZATO? ? VF L56
    SOLARTRON? AX 2 5S
    REXROTH? ?位置傳感器 GIV50-11
    HYDAC? ?VD2LZ.1/-BO
    BD 壓力傳感器DMP331-110-1001-1-3-100-300-1-000
    VERSA? EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
    ROSEEMOUNT? 3051TG3A2B21AB4E 8M5HR5,0-10.3bar
    TWK? CRE58-4096G24CE01
    意大利carpanelll? ?電機? B5? 報 價型號? Drehstrommotor Typ 63L/4a
    EUROTHERM? ?EPOWER/4PH-400A/600V/230V/×××/×××/×××/OO/Y2/
    P+F? ?光電開關\漫射式\RLK31-8-2500-IR/31/115\PNP
    IPF? ? 傳感器OR170120? ?10-30VDC 200mA? Sn:4m
    STAUBLI? ? RMI209.12.7102/JV
    RELECO? ?繼電器C4-A40 DX/DC 24V
    S+B VCS09611ERT8P2+1*OGF6B
    DESTACO迪斯泰克? ?8MB-056-1 磁性開關支架
    ASCO? SCE272A017MS? 230/50
    IMAV? ?閥RVPS-10N-C-0-50
    Bauer? ? 電機BS40-62U/D08MA4-G-S/ESX010A9
    Bihl+Wiedemann? ? 模塊BWU 2544
    Honeywell RA890G1229
    SAUER? DANFOSS? ? GRL074BLS2525NNN3 S1N2A1NAAANNNNNN
    Voith? ?附件 Schmelzsicherungsschraube Set X1 - M18 bestehend aus: 5 Schmelzsicherungsschrauben 2? Dichtring für Füllschraube
    SENSOR ENDRESS+HAUSER? FTM20-AG42A
    Hanovia? 130027-2001-C
    DESTACO? ?8EA-030-1
    HYDAC? ? 溫度控制器ETS3868-5-000-000-30? ? ? ?150℃? DC24V
    E-T-A? ?繼電器 ESS20-003-DC24V 10A 4個起訂
    HENGSTLER? ?0547884
    RHM1720MK021S1G6100
    SUN? ?CWIA-LHN-QCXS
    Phoenix? ?圓形連接器SACC-M12MSB-5CON-PG9 SH AU
    SKF? ? PPU-5 閥
    Rexroth? A4FM22/32W-NSCO2
    IPF? 接近開關IB120155 10-35VDC 120mA
    Rexroth? ?換向閥4WEH10J4X/6EG24N9TS2K4
    德國Krom schroder? ? 點火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2? 已停產,升級型號 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
    SICK? 障礙物傳感器TIM320-1031000
    ECKERLE? ? EIPH2-016RP30-1X 包括附件(6000200234)
    MOOG? D661-6573C G08JOAA4VSX2HA
    DESTACO迪斯泰克? ?8MB-055-1 開關總成(帶支架)JB報價只是磁帶KASSETTE
    BERMAD? IR-3"-110-Y-P-FF-UC-9DS-PP-X
    RHM1200MP101S1G8100
    IPF? ?接近開關 IB080150
    MTS? ?EPS0270MD601AO
    美國warner? ? 制動器TB5000IM? ? ? 24VDC? ? ?23w
    HYDAC? EDS-346-2-250-000
    日本豐興TOYOOKI? ? HRD3-BG3-1-04B-WYD2
    CAREL? EVD0000E20控制器
    ?MTS P-M-0700M-D53-A-P102
    Rexroth? ?電磁換向閥4WE6YX6X/EW220N9K4
    Bently? ?瓦振傳感器9200-01-05-10-00
    VERSA? EZM-3143-4-Z-HC-A120 A120 = 120V60Hz
    ECKERLE愛珂勒? ?齒輪油泵? 890-E1-0800-RS2-C503




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