革新軟光刻工藝：高精度CO2激光切割機賦能PDMS微流控器件高效制造
PDMS微流控器件的精密加工直接決定產品性能。我司專業級CO2激光雕刻切割機，專為PDMS（聚二甲基硅氧烷）微流控器件開發，以非接觸式低溫加工技術突破傳統軟光刻局限，實現微模具雕刻與器件切割的一體化精密制造。
PDMS加工核心技術突破
1. 低溫精細雕刻
采用10.6μm波長CO2激光配合脈沖調制技術，能量精準聚焦于PDMS表面，熱影響區＜10μm。避免材料硫化變形，確保微通道復刻精度，提升器件密封性。
2. 微流道無損傷切割
動態能量控制系統，最小切割線寬30μm，切口光滑無毛刺。消除機械應力導致的PDMS層離或拉伸變形，器件成品率提升至98%以上。
3. 模具-器件雙工藝集成
單設備完成PDMS模具雕刻與器件輪廓切割：
模具雕刻深度精度高
器件切割重復定位精度高
無縫銜接原型開發到小批量生產
智能生產系統保障
全封閉切割艙集成HEPA過濾系統，有效吸附PDMS加工產生的硅氧烷微粒
紅外實時溫度監控，確保加工區溫度＜80℃（PDMS耐熱臨界點）
可選配三維自動對焦+CCD視覺定位，實現曲面模具對焦精度
為下一代微流控技術奠基
無論是構建類器官芯片、微生理系統，還是開發微流控診斷卡，本設備均可提供從模具雕刻→器件成型→表面改性的全流程解決方案。通過模塊化擴展，兼容玻片打標、PMMA輔助層加工等工藝。
