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當前位置: 首頁 » 供應產品 » » 真空泵 »Hakuto 離子刻蝕機 IBE 用于金銅鎳銀鉑等材料微米級刻蝕

Hakuto 離子刻蝕機 IBE 用于金銅鎳銀鉑等材料微米級刻蝕

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產品價格: 111/人民幣 
最后更新: 2020-11-19 11:40:42
產品產地: 日本
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
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    產品詳細說明

    Hakuto 日本原裝設計制造離子刻蝕機 IBE 提供微米級刻蝕 滿足所有材料的刻蝕 即使對磁性材料 金銅鎳銀鉑等金屬及復合半導體材料 這些難刻蝕的材料也能進行微米級刻蝕 .

    伯東離子刻蝕機 IBE 組成主要包含真空刻蝕腔體 , 樣品臺 , 離子源等 .

     

    其配置如下 

    一. 真空腔體

    伯東離子刻蝕機 IBE 的真空刻蝕腔體配置的是德國 Pfeiffer 分子泵 .

    Pfeiffer 分子泵抽速范圍 10  2700 L/S 轉速最高 90,000 rpm 極限真空最大 1E-11 mbar 能滿足各種各樣真空度要求 .

     

    伯東是 Pfeiffer Vacuum 德國普發真空產品授權代理商 銷售維修普發 Pfeiffer 真空產品已超過 20  .

     

    二. 離子源

    伯東離子刻蝕機 IBE 配置的美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼 離子源 .

    可選的離子源包括 

    射頻離子源 RFICP380 RFICP220 , RFICP140 , RFICP100 , RFICP40

    考夫曼離子源 : KDC160 , KDC100 , KDC75 , KDC40 , KDC10

    霍爾離子源 : eH3000 , eH2000 , eH1000 , eH400 , 線性霍爾離子源 eH Linear

     

    伯東公司是美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源亞洲總代理 .

     

    三. 樣品臺

    伯東離子刻蝕機 IBE 樣品臺可選直接冷卻 間接冷卻 水冷 , 而且可以 0-90 度旋轉 .

    其中基片尺寸大小支持 Φ3 inch , Φ4 inch , Φ5 inch , Φ6 inch , Φ8 inch 等各種尺寸 .

     

    伯東離子刻蝕機 IBE 優勢 :

    伯東離子刻蝕機集全球好設備于一身 , 其性能也是優越于市面上絕大部分離子刻蝕機 .

    1. 刻蝕材料范圍廣提供微米級刻蝕 , 滿足所有材料的刻蝕即使對黃金 Au ,  Pt , 合金等金屬及半導體材料也能提供最優蝕刻

    2. 均勻性高 , 高達 ≤±5%

    3. 硅片刻蝕率可達 20 nm/min

    4. 樣品臺冷卻方式多 , 可選直接冷卻 , 間接冷卻

    5. 樣品臺可 0-90 度旋轉

     

    伯東離子蝕刻機 IBE 包含小型離子蝕刻用于研究分析和大型離子蝕刻系統用于生產制造 已應用于半導體器件 , 集成電路制造 , 薄膜電路 , 印刷電路 , 手機背板鍍膜 , 手機廣角鏡頭鍍膜等 .

     

    伯東離子刻蝕機 IBE 可選型號有 : 20IBE-J , 20IBE-C , 10IBE , 7.5IBE

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 羅先生                               臺灣伯東 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權所有 , 翻拷必究 


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