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當前位置: 首頁 » 供應產品 » » 真空泵 »Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C 用于半導體晶圓刻蝕

Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C 用于半導體晶圓刻蝕

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產品價格: 11/人民幣 
最后更新: 2020-11-20 15:43:26
產品產地: 美國
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明

    某半導體公司為了去除晶圓反應表面產生的反應產物, 進而提高反應效率, 同時提高晶圓的均勻度, 采用 Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C 用于半導體晶圓刻蝕.

     

    Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C 產品圖如上圖, 其主要構件包括 Pfeiffer 分子泵, KRI 考夫曼離子源, 觸摸屏控制面板, 真空腔體, 樣品臺.

     

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-C 技術參數如下:

    離子蝕刻機

    Ф4 inch X 6片

    基板尺寸

    < Ф3 inch X 8片
    < Ф4 inch X 6片
    < Ф8 inch X 1片

    樣品臺

    樣品臺可選直接冷卻 / 間接冷卻, 0-90度旋轉

    離子源

    20cm 考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 8”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

    Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

    離子源型號

    RFICP 220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

    * 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

     

    Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-C 的樣品臺可以 0-90 度旋轉, 實現晶圓反應面均勻地接受離子的轟擊, 進而實現提高晶圓的加工質量.

     

    運用結果:

    1. 有效去除晶圓反應表面產生的反應產物, 進而提高反應效率

    2. 晶圓的均勻度得到良好提高

    3. 晶圓的加工質量得到明顯提高

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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