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當前位置: 首頁 » 供應產品 » » 真空泵 »Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 用于提升碳化硅微光學元件的品質

Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 用于提升碳化硅微光學元件的品質

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產品價格: 2000000/人民幣 
最后更新: 2020-11-23 15:49:12
產品產地: 日本
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 郵件marketing@hakuto-vacuum.cn
    • 手機15201951076
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    • 傳真
    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明

    某光學元件制造商為了優化碳化硅微光學元件降低碳化硅微光學元件表面粗糙度采用 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 對其進行優化.

    Hakuto 離子蝕刻機 10IBE技術參數:

    基板尺寸

    < Ф8 X 1wfr

    樣品臺

    直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉

    離子源

    16cm
    考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 4”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

    該制造商采用的 Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 的核心構件離子源是配伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

    伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數:

     離子源型號

     離子源 KDC 160 

    Discharge

    DC 熱離子

    離子束流

    >650 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    16 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    2-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    25.2 cm

    直徑

    23.2 cm

    中和器

    燈絲

    可選可調角度的支架

     

    Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 配的是 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持刻蝕室的真空度.

    其產品優勢:

    1.結構緊湊但功能強大的渦輪泵,用于 N2 時的最高抽速可達 685 l/s

    2.最佳真空性能,最低功耗

    3.集成的帶 Profibus 的驅動電子裝置 TC 400

    4.可在任何方向安裝

    5.帶有集成型水冷系統以保證最大氣體流量

    6.通過 M12 插接頭的 Profibus 連接

    7.廣泛的配件擴展使用范圍

     

    運行結果:

    1. 經過 Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 碳化硅微納結構進行刻蝕, 以調控結構的線寬和深度, 使結構表面粗糙度由約106nm降低到11.8nm.

    2. 碳化硅菲涅爾波帶片展現出良好的聚焦和成像效果.

     

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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