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當前位置: 首頁 » 供應產品 » » 真空泵 »Hakuto 離子蝕刻機 20IBE 去除印刷電路板污染物

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE 去除印刷電路板污染物

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產品價格: 2000000/人民幣 
最后更新: 2020-12-02 16:44:26
產品產地: 日本
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    • 地址上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
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    產品詳細說明

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE 去除印刷電路板污染物


    某印刷電路板制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于刻蝕印刷電路板局部表面去除污染物.

     

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

     

    Φ4 inch X 12片

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12片

    Φ5 inch X 10片

    Φ6 inch X 8片

    均勻性

    ±5%

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    樣品臺

    直接冷卻,水冷

    離子源

    Φ20cm 考夫曼離子源

     

    Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 搭配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

    離子源型號

    RFICP 220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 有效針對所需區域進行蝕刻, 并避免印刷電路板全面性蝕刻產生的導線暴露于空氣中發生的短路異常現象.

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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