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Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板

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產(chǎn)品價格: 2000000/人民幣 
最后更新: 2020-12-07 16:07:51
產(chǎn)品產(chǎn)地: 日本
發(fā)貨地: 本地至全國 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數(shù): 121
詢價  試用會員產(chǎn)品
  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(yè)(上海)有限公司
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    • 會員[試用會員產(chǎn)品]
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    • 手機15201951076
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    • 地址上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細(xì)說明

    Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板


    某印制板線路板生產(chǎn)工廠采用伯東 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 將覆銅板上不需要的銅蝕刻掉, 將需要保留的銅保留下來.

     

    Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 技術(shù)參數(shù):

    Model

    MEL3100

    Wafer size

    3"~6"

    Wafer per batch

    1 wafer

    Cassette No.

    25 wafers

    Cassette Q'ty

    1pc.

    Throughput

    10 (wafer/hr) *1

    Pressure Ultimate

    8×10-5 (Pa) *2

    Pressure Process

    2×10-2 (Pa) *2

    Etching Rate

    >10 (nm/min)@SiO2 *3

    Etching Uniformity

    ±5%@132mm (6") *3

    Wafer surface temp.

    <100℃ *3

    Stage rotating

    1~20 (rpm) ±5%

    Stage tilting

    ±90°±0.5°

    *1: Estimated process time 5min

    *2: No wafer on stege / process chamber

    *3: Depending on process

     

    該工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 的主要原因:

    1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量

    2. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

    3. 占用空間小

    4. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

    5. 高冷卻效果

    6. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動機

    7. 快速響應(yīng)時間和本地服務(wù)能力, 減少停機時間的工具

     

    工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 運行結(jié)果:

    1. 提高蝕刻過程的均勻性

    2. 提高精密程度, 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)工藝能力

    3. 提高產(chǎn)線的生產(chǎn)率, 降低勞動強度, 保證生產(chǎn)的連續(xù)性

     

    若您需要進一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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