KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層

KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層

武漢某大學研究中心為了改善 TC4 表面性能, 采用KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380濺射鍍制 TC4 表面 TiN 涂層,  提高鈦合金表面耐磨耐腐蝕性能, 提高高溫抗氧性能.

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術參數:

客戶采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP380 產生離子束不斷轟擊源極靶材和工件, 工件在離子束轟擊下迅速被加熱至高溫, 源極靶材在轟擊作用下濺射出的合金元素不斷奔向工件表面, 經沉積擴散過程形成一定厚度的涂層.

運行結果:

1. 具有沉積薄膜速度快, 厚度容易控制等特點

2. 涂層的SEM形貌觀測顯示涂層均勻, 致密, 無明顯孔洞缺陷, 涂層厚度約為10um, 過度層厚度約為3um.

3. 涂層的力學性能及磨損性能分析顯示, 涂層的臨界載荷達到81.75N, 遠遠滿足工程要求, 涂層與基體結合良好.

4. 在高溫（500℃）下, TiN的摩擦系數更穩定.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
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