KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 應用于 AlTiN 涂層研究

四川某大學實驗室研究靶電流, 偏壓、沉積時間等各試驗工藝參數(shù)對兩組試樣 AlTiN 涂層力學性能的影響, 旨在找出能夠鍍制優(yōu)良性能涂層的最佳工藝方案的項目中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源.

伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數(shù):

AlTiN 涂層具有高抗氧化性, 良好熱硬性, 摩擦系數(shù)低, 與基體之間結合力強, 耐磨性強等優(yōu)點. 因此AlTiN涂層在機械加工行業(yè),尤其是在刀具領域,一直是研究的熱點.

KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現(xiàn)的.

KRI 離子源是領域公認的領導者, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業(yè)標準的過程中.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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