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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 應(yīng)用于 AlTiN 涂層研究

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產(chǎn)品價格: 11/人民幣 
最后更新: 2021-01-05 15:44:33
產(chǎn)品產(chǎn)地: 美國
發(fā)貨地: 本地至全國 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
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詢價  試用會員產(chǎn)品
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    • 伯東企業(yè)(上海)有限公司
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    • 手機15201951076
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    • 地址上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206
    • 進入商鋪
     
    產(chǎn)品詳細說明

    四川某大學(xué)實驗室研究靶電流, 偏壓、沉積時間等各試驗工藝參數(shù)對兩組試樣 AlTiN 涂層力學(xué)性能的影響旨在找出能夠鍍制優(yōu)良性能涂層的最佳工藝方案的項目中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源.

     

    伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):

    型號

    RFICP140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    AlTiN 涂層具有高抗氧化性良好熱硬性摩擦系數(shù)低與基體之間結(jié)合力強耐磨性強等優(yōu)點因此AlTiN涂層在機械加工行業(yè),尤其是在刀具領(lǐng)域,一直是研究的熱點.

     

    KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實現(xiàn)的.

     

    KRI 離子源是領(lǐng)域公認的領(lǐng)導(dǎo)者已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準的過程中.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

    上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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