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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積 BCx 薄膜

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產品價格: 1/人民幣 
最后更新: 2021-01-21 16:07:16
產品產地: 美國
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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  • 公司基本資料信息
    • 伯東企業(上海)有限公司
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    產品詳細說明

    蘭州某研究所在研究 BCx 薄膜的結構特征、力學性能和摩擦磨損性能試驗中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源濺射碳化硼靶和石墨靶(純度均為99.9%, CrMoAl 齒輪鋼和 Si100)表面沉積 BCx 薄膜

     

    伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:

    型號

    RFICP140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    試驗結論:

    相同的沉積時間內, BCx 薄膜的厚度隨石墨靶電流的增加逐漸增大硬度、彈性模量逐漸降低,微觀形貌的柱狀結構特征越來越明顯;增加石墨靶電流可以提高BCx薄膜的摩擦學性能當石墨靶電流為 2.4A , BCx 薄膜的摩擦因數穩定在 0.2 左右且具有較佳的耐磨性能。

     

    KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.

     

    KRI 離子源是領域公認已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業標準的過程中.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的代理商.

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論請參考以下聯絡方式:

    上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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