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特征
應用/結果示例
基本規格
| 陰極 | φ2英寸直流磁控管/平板型電極 |
| 適用對象 | 金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁 |
| 壓力測量 | 皮拉尼真空計 |
| 壓力控制 |
針閥手動控制 引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝 |
| 工藝氣體 | 氬氣 |
| 真空泵 | 直聯式旋轉泵：20L / min（帶自動泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內徑φ90×D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身體：9公斤RP：9公斤 |
