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特征
應用/結果示例
基本規格
| 陰極 | φ2英寸磁控管陰極 |
| 快門機制 | 自動/手動操作 |
| 氣體導入機制 | 針閥（自動/手動控制） |
| 真空泵 | 直連式旋轉泵：100l / min（有自動泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內徑φ160mmx D160mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） |
機身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm |
| 重量 |
身體：20公斤 RP：23公斤 |
