1) 加熱：采用導熱油間接加熱方式。槽體下部外附一個加熱油包，外置一個導熱油加熱箱，首先由發熱管對導熱油進行加溫，再通過泵浦將加熱油輸送到加熱油包，經過熱交換后再輸送回加熱箱加熱，如此循環。

2) 需要回收的清洗劑經過泵抽入真空蒸餾回收槽，進入真空回收槽之前，首先進入一個熱交換筒，在此與蒸餾回收的HC蒸汽管進行熱交換。經過抽真空后，清洗劑迅速沸騰并蒸發，產生HC蒸汽，然后可在冷凝區進行冷凝回收，回收的純凈清洗劑排入儲液槽，循環使用，具有自動補液循環和漂洗使用功能。

3) 強力真空減壓系統，配備真空減壓泵，真空顯示表。真空馬達為西門子，設有電磁閥。常溫常壓下，碳化水素的沸點為172℃，減壓情況下，可以降低沸點，高溫碳化水素在減壓條件下迅速形成HC蒸汽，被真空泵一起抽出回收槽，在冷卻箱內再形成液體，經過活性碳過濾，稱為再生液，可以循環使用。

碳氫真空清洗干燥機經過碳氫真空清洗機的清洗，完全可以達到精密工業部件的清洗要求