世偉洛克隔膜密封閥系列
DP 系列無彈簧隔膜閥
■ 適合超高純度應用
■316L VIM-VAR 不銹鋼閥體
■低壓和高壓兩種閥型
■VCR®、卡套管對焊和模塊式表面安裝端接
■手動或氣動執行機構
DL 和 DS 系列隔膜閥
■ 無填料, 全金屬殼體
■ 壓力從真空至 3500 psig (241 bar)
■ 溫度從 –73 至 121°C (–100 至 250°F)
LD 系列隔膜閥
■ 工作壓力高達 300 psig (20.6 bar)
■ 開關、散裝氣體分配以及隔離服務
■ 鑄造、鍛造及棒材不銹鋼閥體材料
■ 1/4 至 1 in.、12 至 25 mm 端接
DF 系列高流量, 無彈簧隔膜閥
■ 316L VAR 不銹鋼閥體
■ 工作壓力可達 300 psig (20.6 bar)
■ 1/4, 3/8 和 1/2 in. ；10 和 12 mm 端接
DRP 系列超高純含氟聚合物隔膜閥
■氣動和四分之一圈手動 2 通和 3 通型；帶有流量可調和旁通功能的氣動型和手動型
■改進型 PTFE 潤濕部件和聚丙烯執行機構
■符合針對超高純系統組件的 SEMI 標準 F57- 0 3 01
■細牙螺紋擴口和 Nippon Pillar® Super 300 端接標準; 可提供 Flowell, 空間節約型和其它端接
■可提供定制閥組和組件
ALD系列原子層沉積用隔膜閥
■ 高速執行下的超高循環壽命
■ Cv 0.27 到 0.62
■ 耐熱執行器、耐溫高達 200°C（392°F）
■ 電子執行器位置傳感選購件
■ 適合采用 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的超高純應用場合
■ VCR®、卡套管對焊和模塊化表面安裝端接
典型型號
零部件號：6LVV-ALD3TFR4-P-C
描述：316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執行器
規格摘要
機體材料316L VIM-VAR
連接1規格1/4 in.
連接1類型內螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭
連接2規格1/4 in.
連接2類型內螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭
清潔工藝超高純工藝規范 (SC-01)
