MEMS工藝中退火專用無氧化烘烤箱，含氧量＜20ppm旦順無氧化烤

一、無氧化烘箱特點(diǎn)：
無氧化烘箱，在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……
二．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.無氧化烘箱型號： QMO-350
2、無氧化烘箱主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1含氧量：< 50ppm，30ppm, 20ppm;
2.2溫度范圍： RT（室溫）+60～ +300℃；
2.3溫度均勻度：±1.5%;
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W700×H700×D700mm
外形尺寸：W1300×H1500×D900mm
2.8電源：380V 3φ 50HZ 7KVA
3、無氧烘箱箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3.6 保溫材料：硅酸鋁棉；
4、無氧烘箱溫控系統(tǒng)
4.1控制器采用8段微電腦溫度控制器，具有PID控制參數(shù)自動整定功能。
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻；
無氧烤箱熱線：021-37693997，15221744475 傳真:021-37832075聯(lián)系人：蔣鑫,

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