型號:FS  品牌 迪川儀表
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FS列是采用世界領先的美國微機電系統（MEMS）流量傳感技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。
該傳感器能直接測量氣體質量流量，壓損低。適用于凈化空氣或氮氣流量，還可用于環保監測儀器，如空氣采樣
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產品概述:
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍最大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍最大到50SLPM；
產品特點:
   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用
    - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
    - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
    - 零點穩定度高
    - 全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
    - 低功耗、低壓損
    - 響應速度快
產品特點:

性能參數 FS4003 FS4008 單位
通 徑 3 8 mm
最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1 
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重復性 0.75 %
零點輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 0.12 %/oC
響應時間 100 ms
工作電源 8~18Vdc,100mA  
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc  
最大流量壓損 100 600 pa
最大工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ +55 oC
存儲溫度 -20 ~ +65 oC
工作濕度 <95%RH（無結冰、無凝露）  
機械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 
校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa 
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)
英文說明
Unit performance parameters FS4003 FS4008
3 8 mm diameter
Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
100:1 turndown ratio
Accuracy ± (1.5 +0.2 FS)%
Repeatability 0.75%
Zero drift ± 30 mV
Output drift 0.12% / oC
Response time 100 ms
Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA
Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc
Maximum flow pressure loss 100 600 pa
Maximum working pressure of 0.5 MPa
Operating temperature -10 ~ +55 oC
Storage temperature -20 ~ +65 oC
Humidity <95% RH (with no icing or condensation)
Mechanical interface BSPT1 / 4 (R1 / 4), 4mm/6mm/8mm quick connector
Calibration methods of air (or other gases), 20oC, 101.325kPa
Weight of 57 (with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface)
71 (with 4mm, 8mm fast interface, 68 (with 6mm quick connector)