功能簡(jiǎn)介：
1 線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，線性光柵尺定位
a. 控制系統(tǒng)免保養(yǎng)；
b. 運(yùn)行無(wú)振動(dòng)，保障測(cè)試精度；
c. 運(yùn)行速度快；
d. X、Y軸定位精度高，達(dá)±5um@3σ
2 測(cè)量精度高
a. 高度分辨率為0.4 微米；
b. 高度測(cè)量精度為±1微米；
c. 體積重復(fù)精度為±1%@3σ；
d. 體積GR&R為3.63%（OPPO實(shí)測(cè)）；
e. 掃描間距為1微米；
f. 最小可測(cè)量300 x 300 μm的錫膏；
3 采用2D+3D混合測(cè)量方式
2D光源確定錫膏平面，3D計(jì)算體積；
可以測(cè)量低于35微米的物體，比如：綠油、絲印、焊盤(pán)的高度和體積；
