海德漢專利的光刻鍍鉻技術,最小信號周期0.128微米;
最高精度等級0.5微米/米;
基體可選玻璃、玻璃陶瓷及鋼質,通過基體選擇熱膨脹系數,玻璃陶瓷熱膨脹系數接近零自由膨脹、拉伸、背貼等多種安裝方式,適用于不同應用場合;
海德漢光柵采用成像掃描與干涉掃描原理,后者用于8~0.128微米柵距,信號誤差小于1%,消除高頻諧波,進行高倍細分,最高分辨率1納米,可用于高速場合;
海德漢光柵采用大面積掃描場單場掃描方式,大大降低對油污的敏感性,超級堅硬的光柵尺因高刻線度,灰塵、污物或水滴難以留在其表面,使得光柵尺有著很高的抗污染能力;
海德漢與超出同類產品的優勢:海德漢關于干涉掃描、創新的掃描掩膜技術及成像掃描原理的應用,使得光柵的安裝有較大的安裝公差;
海德漢采用增量信號1Vpp或TTL輸出形式,最大電纜長度30米;
海德漢光柵的工作環境要求:標準工作溫度(鑒定溫度)20℃,可工作溫度0~50℃,儲存溫度-20~70℃;
海德漢光柵尺的應用:適用于半導體工業的測量和生產設備、PCB電路板組裝機、超精密機床、高精度機床、測量機和比較儀、測量顯微鏡和其他精密測量設備、直接驅動等