日本SMC IR2020-02為精密減壓閥，該閥體積小，重量輕，流量大，排氣量大，壓力設(shè)定精確，安裝方便，可用托架獨立安裝，或與現(xiàn)在的模塊式過濾組合AF及AFM直接安裝，標(biāo)準(zhǔn)也帶面板安裝，先導(dǎo)排氣口與主導(dǎo)排氣口分開。特別產(chǎn)品可在潔凈房使用。

精密減壓閥 精密減壓閥 IR   系列 接管口徑 設(shè)定壓力 (MPa) IR1000 1/8 0.005 ~ 0.2 0.005 ~ 0.4 0.005 ~ 0.8 IR2000 1/4 IR3000 1/4, 3/8, 1/2 0.01 ~ 0.2 0.01 ~ 0.4 0.01 ~ 0.8 特點 張力控制 接觸壓力控制 設(shè)定靈敏度：0.2%F.S.以內(nèi) 重復(fù)性±：0.5%F.S.以內(nèi)