Aera® FC-7800 系列MFC提供精確的流量控制以極佳的抗阻性能和超高防漏的金屬密封,適合大部分氣體控制用。
性能:
快速的響應(yīng),響應(yīng)時間
<2秒.
無與倫比的可靠性——一年零漂移不到滿標(biāo)度流量的0.5%
易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸
出色的效果——優(yōu)質(zhì)的薄膜特性
特點:
耐腐蝕性,流量范圍從10sccm-200slm
VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性連接
全金屬密封
常關(guān)或常開的電磁控制閥
泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He