美國MKS1179A氣體質量流量計是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。對于當今市場上的質量流量控制器,1179A可作為直接替代的產品,標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。
技術參數:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM??刂屏砍蹋?% to 100% 的全量程。測量精度:全量程的1% 靈敏度:全量程的0.1%熱機時間:小于2Min.
MKS流量計主要產品:MKS金屬和彈性密封型流量計MKS1179A,MKS1479A,MKS2179A,MKS1559A,MKS流量控制器,MKS電容式壓力計