美國MKS1179A氣體質量流量計是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。對于當今市場上的質量流量控制器，1179A可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。控制量程：2% to 100% 的全量程。測量精度：全量程的1% 靈敏度：全量程的0.1%熱機時間：小于2Min.
MKS流量計主要產品：MKS金屬和彈性密封型流量計MKS1179A,MKS1479A,MKS2179A,MKS1559A，MKS流量控制器，MKS電容式壓力計
