激光微加工詳細介紹

“激光微加工合用于聚合物及采用其它技能難以進行微加工操作的資料的潔凈切割、鉆孔和成型，”JPSA(新罕布什爾州，Manchester;www.jpsalaser.com)發(fā)賣司理Bill Kallgren說道。公司的紫外線技能應用光切除進程——激光器宣布的紫外線惹起的揮發(fā)生用——構成等離子體羽輝，去除極為精密且定量的資料。據Kallgren稱，其后果可以取得潔凈的孔、通道或零件。

　　公司除供應二極管泵浦固體激光器、激光微加工設備及紫外線和真空紫外線激光光束傳輸系統外，還可供應各類激光系統，包羅IX-3000 ChromAblate，這是一款可完成微米級加工的紫外準分子激光系統，其公役達亞微米級。其典型的使用范疇包羅支架、導管、微流體設備、芯片實行室生物傳感器、噴嘴和微電機系統。Kallgren指出，JPSA的機械可以處置各類資料，包羅聚合物、陶瓷、玻璃、金屬和其它資料。

　　因為激光技能可以構成光鮮的輪廓、潤滑的壁、通明亮光的外表及其它復雜的特征，因而它有助于很多復雜的醫(yī)療器械的出產。Kallgren談論說：“諸如微流體設計等醫(yī)療器械制造范疇凡間需求加工復雜的孔、錐體、通道或取樣室。這些能夠是微型特征，但還需求到達一致和不變的巨細。紫外準分子激光設備可以加工出復雜且可反復的幾何外形。”

　　雖然目的是構成復雜的幾何外形，但分歧的使用范疇需求分歧的定制設備。“我們的規(guī)范系統是高級工程設備，但它們采用了模塊化的設計，因而我可以依據客戶的要求對設備進行增減，”Kallgren分析說。例如，用于簡略加工的系統能夠帶有X-Y-θ平臺，假如還需求調焦，則能夠帶有z-θ平臺。從另一方面來說，客戶能夠需求卷帶式平臺和視覺瞄準設備進行主動化的多量量出產。

　　在準分子激光系統中，能夠需求附加的活動軸來執(zhí)行主動掩膜更改功用，用以選擇分歧的圖像并將其投射于目的上。協調相對活動使得系統可以掃描光束局限內的掩膜，在有些特定的狀況下可以還掃描下面的部件。“簡略的說，系統可以只進行四軸活動，也可以進行16軸活動，詳細取決于客戶的做法，”Kallgren說道。

　　Kallgren說道，瞻望將來，波長和熱學節(jié)制是需求特殊留意的當地。“客戶不再切割金屬支架，他們更多的存眷于新型資料，如生物可接收資料。問題在于，良多這種資料對熱敏感。”例如，凡間采用YAG、CO2或延續(xù)式激光器進行支架切割，這些技能構成熱影響區(qū)，會對新資料制成的支架形成毀傷。但據Kallgren稱，通俗紫外激光器雖然具有較高的光子能和帶隙，但仍非幻想選擇。

　　Kallgren說：“我們等待脈沖寬度成為提拔質量的另一種調理方法。脈沖寬度較短，則光線與資料接觸的工夫更短，制造工藝較冷。”基于此目的，公司探究皮秒或飛秒激光波長的脈沖局限的二極管泵浦固體或準分子激光器的使用。Kallgren增補說，這些技能能完成多光子接收且在目的基材上發(fā)生的熱量較小，因而是一種潔凈、高分辯率、高保真度的微加工辦法。

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