精密在線輪廓檢測系統(tǒng),輪廓檢測系統(tǒng),在線檢測系統(tǒng)

 激光位移傳感器 (2D)

輪廓／截面
瞬間測量／判定截面
可在特定的范圍內(nèi)實時測量截面面積。這樣便可以對輪廓和截面進(jìn)行質(zhì)量控制。

角度／交點／位置
自動計算角度／交點
可根據(jù)表面輪廓實時測量／判定角度、交點及邊緣位置。

寬度／間隙
透過特定測量模式測量寬度／間隙
根據(jù)表面輪廓測量寬度及間隙。在進(jìn)行高精度測量的同時不受目標(biāo)物顏色的影響。

高度／變形
在特定的范圍內(nèi)多點測量高度
可測量平均高度、最大高度及最小高度。透過計算特定點的高度可測出變形或膨脹度。

分辨率：最高0.05um
測量速度：最高9400Hz
探頭線性度：最高0.5um
掃描速率：最高1120m/min