UVW平臺

Item項目

CK-UVW-100

CK-UVW-160

CK-UVW-200

CK-UVW-300

CK-UVW-400

Stroke

行程

X axis:±5mm

X軸:±5mm

X axis:±5mm

X軸:±5mm

X axis:±5mm

X軸:±5mm

X axis:±6mm

X軸:±6mm

X axis:±3mm

X軸:±3mm

Y axis:±5mm

Y軸:±5mm

Y axis:±5mm

Y軸:±5mm

Y axis:±5mm

Y軸:±5mm

Y axis:±6mm

Y軸:±6mm

Y axis:±3mm

Y軸:±3mm

θaxis:±3°

θ軸:±3°

θaxis:±3°

θ軸:±3°

θaxis:±2.5°

θ軸:±2.5°

θaxis:±3°

θ軸:±3°

θaxis:±3°

θ軸:±3°

Table size工作臺尺寸

100mm×100mm

160mm×160mm

200mm×200mm

300mm×300mm

400mm×400mm

Base size 基座尺寸

130mm×130mm

180mm×180mm

240mm×240mm

350mm×350mm

450mm×450mm

Height高度

80mm

85mm

90mm

95mm

100mm

Motor

電機

Setpping motor

步進馬達

Setpping motor

步進馬達

Setpping motor

步進馬達

Setpping motor

步進馬達

Servomotor

伺服馬達

Stage material

平臺材質

Lron :low temperature black chrome plating treatment   Aluminum :Black alumite treatment

鐵：低溫黑色鉻處理     鋁：黑色耐酸鋁處理

Weight重量

3.5kg

8.5kg

18kg

44kg

75kg

Resolution(factory seting)分辨率（出廠時設定）

0.2μm/pulse

Repetitive positioning accuracy

重復定位精度

Within±1μm

±1μm以內

Within±0.7μm

±0.7μm以內

Within±1μm

±1μm以內

Within±1μm

±1μm以內

Within±0.7μm

±0.7μm以內

Lost motion

無效運動

Within3μm

3μm以內

Within2μm

2μm以內

Within2μm

2μm以內

Within2μm

2μm以內

Within2μm

2μm以內

Load carrying capacity when stopped

(Distributed load in the vertical direction)

靜止時負載功率（垂直方向等分布載荷）

50N

500N

1000N

2000N

3000N

Load carrying capacity when moving

(Distributed load in the vertical direction)

移動時負載功率（垂直方向等分布載荷）

10N

100N

200N

400N

500N

Degree of parallelism平行度

30μm