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供應全功能微控擴散系統擴散系統廠家

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產品價格: 1/人民幣 
最后更新: 2011-11-12 11:34:22
產品產地: 青島
發貨地: 青島 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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    產品詳細說明
    L65614-64J/RZQ全功能微控擴散系統
    該系統是生產半導體器件和大規模集成電路的重要設備。
    1、系統組成:a)擴散爐主機  b)推拉舟及層流凈化臺  c)氣源柜  d)排毒柜  e)微機控制柜
    2、擴散爐管數:14/
    3、爐管內徑:φ90㎜×240mm
    4、恒溫區長度:≤600mm±1(300800℃)  600mm±0.5(8001250℃)
    5、單點穩定性:±1/24h(300800℃)    ±0.5/24h(8001250℃)
    6、氣源路數:≤6
    7、氣源控制:MFC或浮子流量計
    8、推拉舟行程:1500mm
    9、推拉舟速度范圍及精度:(11000)± 3mm/min
    10、推拉舟位置控制精度:≤3mm
    11、冷卻方式:水冷+風冷
    12、微控部分采用STD總線功能模板
        a)CPU板:8031+32ROM+8KRAM+總線接口部件
        b)信號調理板:完成對溫度過程的采樣、放大及高精度A/D的轉換
        c)人機界面板:接收鍵入信息管理,并配置9”液晶顯示
        d)推拉舟接口板:輸出推拉舟速度值,完成舟位置檢測,輸出推拉舟的運動指令
        e)MFC接口板:輸出MFC設定值,將MFC的流量信息采入計算機
        f)可控硅控制及形狀量輸出板:完成與可控硅觸發及開關量放大驅動器接口等功能
        g)鍵盤:采用標準鍵盤或專用小鍵盤
        h)電源板(非STD總線板)
        i)可控硅觸發板:完成可控硅的過零觸發或移相觸發驅動(STD總線板)
        j)開關量驅動板:完成由STD總線板的數字信號(TTL電平)的轉換、放大,用于驅動氣路閥(非總線板)
        k)推拉舟驅動部分:接收總線板輸出的推拉舟速狀態指令,并將位置轉換成標準信號輸出,有手動自動轉換
    13、微機控制特點:
        a)工藝溫度段數:114段,可選段運行
        b)單段時間范圍:11080分鐘/斜變段    19999分鐘/恒溫段
        c)三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值               d)三個溫度測控點獨立修正溫度測量值
        e)PID參數,溫度修正量可在線修改                      f)溫度設定單位:℃   分辨率:0.1
        g)工藝段時間設定單位:min,分辨率:1min                h)各類工藝數據斷電后長期保存
        i)工藝氣體流量,推拉舟運動狀態由微機實行閉環控制  j)中文顯示各類提示信息
    k)各類輸入信息采用填表方式完成,條例清楚,邏輯合理

    立式真空燒結爐、單、雙管臥式真空燒結爐、壓力燒結爐、陶瓷燒結爐、鏈(帶)式燒結爐、全功能微控擴散系統、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結爐、雙工位立式真空燒結爐、陶瓷金屬化氫氣燒結爐、馬弗爐、消磁爐、WDNI系列高精度電腦溫度控制系統、WDNX多功能溫度控制系統、全鉭玻璃絕緣子熔封爐、PFJ-2型平行縫焊機、Y80-2/ RZQ加壓檢漏臺、熱穩態壓力機、時效爐

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