愛德華STP-iXA3305CPV磁懸浮分子泵保養 半導體真空設備泵維修

極限壓強：10-7Pa

出氣法蘭：KF40

葉輪數目：多級

材質：不銹鋼

轉速：27500 rpm

重量：80KG

品牌：Edwards愛德華

型號：STP-iXA3305CPV

類型：半導體真空設備泵

進氣法蘭：ISO250F\/VG250\/250CF\/ ISO320F\/VG300\/320CF

抽速：2650 L\/s \/2050 L\/s \/3200 L\/s \/2300 L\/s