用途:半導(dǎo)體設(shè)備
極限壓強(qiáng):10-7Pa
出氣法蘭:KF40
葉輪數(shù)目:多級(jí)
材質(zhì):不銹鋼
轉(zhuǎn)速:27500 rpm
重量:80KG
品牌:Edwards愛德華
進(jìn)氣法蘭:ISO320F
抽速:3200 L\/s
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