SET3/1064/532/355，SFT3：激光微調機/激光修阻機/激光調阻機/激光刻阻機　

激光調阻機的成功研制對推動我國微電子行業的產業升級起到重要作用。激光調阻機是利用激光技術對厚、薄膜電路進行修調，以得到高精度的電阻值或精準的輸出信號。公司生產的激光調阻機全部擁有自主知識產權，采用高質量的激光源和精密的測量系統，空氣懸浮平面運動機構，各項性能指標達到先進水平，是取代進口產品之首選.

SET507系列技術參數:

1.激光器系統
激光波長：532nm/355nm
激光平均功率：7W
典型光斑尺寸： 15μm±3μm
實際切口取決于材料、光學器件和波長
冷卻方式：風冷
對焦方式：計算機程序控制
2．激光束定位系統
激光束運動范圍：50mm X 50mm
重復定位精度：2μm
定位精度：±5μm
激光束最小步進：0.76μm
3．分步重復機械運動系統
運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
運動范圍：290mm*260mm
最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據要求定做）
運動分辨率：1μm
重復精度：2μm
定位精度：±15μm
最大運動速度：500mm/s
4．測量系統
激勵方式：電流激勵
恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇
電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
電阻測量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R  （R<100Ω）    
              中阻：<0.05%
              高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍： 0.1Ω-10MΩ
電阻測量速度：25μs
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
探針板運動：計算機程序控制
5．計算機及軟件系統
工業控制計算機（雙核），19寸液晶
操作系統：Windows XP
軟件可編程，界面友好，功能強大
軟件系統可免費升級和進行功能擴展
6．圖像監視系統
監視方式：激光同軸監視
監視視場：2-3mm（對角線）
顯示屏：19寸液晶
7．其它技術指標
供電電壓：220V AC
整機功耗：1200W

激光器的選擇：
針對被修調電阻材料特性，選擇合適波長的激光器，可提升切割效果，對于金屬薄膜電阻，一般采用532um或355nm短波長激光可達到理想效果，有些金屬薄膜電阻也可以采用

應用和市場：

主要應用于厚、薄膜電路的精密調節。廣泛應用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，軍工科研，片式電阻行業等。